■ 「セミコンジャパン2005」出展のお知らせ

2005年11月11日

当社は「セミコンジャパン2005」に出展し、下記の製品を展示いたします。 ■ 省エネ型ドライ真空ポンプ "vigo-vac" 半導体製造の前工程にて、プロセスチャンバー内を真空引きするためのポンプです。 省エネ、長寿命、静粛性を兼ね備えた画期的なポンプです。4000Lならびに10000Lタイプを展示します。 ■ 精密制御用減速機 "RV-Eシリーズ、RDシリーズ、GHシリーズ、RTシリーズ" 産業用ロボットの関節用に高い評価を得ているRV減速機を中心にした精機カンパニーの減速機は、半導体製造装置/液晶製造装置の搬送部やその他の用途でも活躍しています。 ■ 2軸真空移載装置 半導体製造装置内の真空中で、ウエハをハンドリングする装置です。 他社製品に比べ、コンパクトで、消費電力が小さいことが特長です。

会　　　　場：	幕張メッセ
開催期間　　：	2005年12月7（水）〜9日（金）　10:00〜17:00
入場事前登録：	こちらをご覧下さい
交通アクセス：	こちらをご覧下さい
出展ブース　：	ホール7、7A-1201
問い合わせ先：	ナブテスコ（株）第一事業推進部　浅野 TEL: 03-3578-7463