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| ■ 当社ドライ真空ポンプ、優秀省エネルギー機器表彰・経済産業大臣賞受賞 | 2005年 2月 1日 |
優秀省エネルギー機器表彰は社団法人 日本機械工業連合会が主催する表彰制度で、優秀な省エネルギー機器を開発して実用に共することにより、エネルギーの効率的利用の推進に貢献していると認められる者及び企業その他の団体を表彰し、優秀な省エネルギー機器の普及を図るとともに、省エネルギー機器の開発を促進しようとするもので、平成16年度は経済産業大臣賞1機器、資源エネルギー庁長官賞1機器、日本機械工業連合会会長賞10機器が選定され、経済産業大臣賞は最優秀賞にあたります。 半導体製造装置の真空容器の排気用として使用される真空ポンプは、半導体工場の消費電力の約20%を占めるといわれており、地球温暖化対策および製造コスト削減のため、省エネ化のニーズが高まっていました。 「vigo-vac」はこのようなニーズに応える製品として開発され、(1)その優れた省エネ性、(2)環境負荷の軽減、(3)ランニングコストの低減などが本賞の受賞につながりました。 |
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| (1) 世界で初めてブースターポンプに圧縮比が大きいスクリュー式を採用。これにより消費電力の大きいメインポンプの容量を1/10程度にまで小型化*し、従来型に比べ、54〜77%*もの消費電力を削減 (2)冷却水の使用量についても従来型の約1/3*とした結果、ポンプのライフサイクルを通してのCO2排出量を大幅に削減* (3)性能劣化や、故障の原因となる反応副生成物の発生を抑制する独自の断熱構造により、オーバーホール周期を従来の2倍以上に長寿化*、点検修理費用を低減 *いずれも当社調査。数値は使用条件等により異なることがあります。 |
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