■ ティーエスコーポレーション（株）「SEMICON WEST 2004」出展のご報告

2004年 7月21日

ナブテスコグループのティーエスコーポレーション(株)は米国サンフランシスコにおいて7月12〜14日に開催された世界有数の半導体関連展示会、「SEMICON WEST 2004」に出展し、同社の半導体製造用途製品の紹介をいたしました。 （写真は会場の模様です。クリックすると拡大表示されます。）

出品した製品は次の通りです。 ■ ドライ真空ポンプ 半導体製造の前工程において、ウェハの加工装置内を真空引きするためのポンプです。オイルフリーのためクリーンで、使用冷却水も少量ですみ、消費電力において世界No.1の製品です。 ■ 真空移載用高精度駆動ユニット 半導体製造装置の真空搬送室内でウェハを運ぶ用途に用います。他社製品に比べ、コンパクトで、消費電力が小さいことが特長です。 ■ 高精度サーボアクチュエータ (ARシリーズ) 回転装置等の旋回軸駆動装置に用いられる高精度の減速機とモータからなるユニットです。 ■ 精密制御用減速機（RDシリーズ） 半導体ウェハの搬送用クリーンロボットなどの関節等に使用される高精度で剛性の高い減速機です。 ■ Harmonic Drive Technologies Nabtesco Inc.製品 米国ボストンを拠点とする関連会社である Harmonic Drive Technologies Nabtesco Inc. の半導体ウェハの搬送用とに用いられる小型減速機およびその応用製品(High Vacuum Feed Through Actuator等)です。同社減速機は金属のたわみを応用した独自の機構を持っています。

会　　　　期：	2004年7月12日（月）〜14日（水）
開催時間　　：	10:00〜18:00（14日のみ16:00まで）
会　　　　場：	Moscone Center 747 Howard Street, San Francisco, California U.S.A.
出展ブース　：	2542 (Nabtesco Corporation名での出展です。
問い合わせ先：	ティーエスコーポレーション(株) 第1新商品開発部 TEL：03-3578-7463　　FAX：03-3578-7471